在2025年的SEMICON China展會上，深圳半導(dǎo)體設(shè)備制造商——思凱瑞工業(yè)機(jī)械有限公司（SiCarrier Industrial Machines Co., Ltd.）驚艷亮相，一次性推出了五款全新的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，旨在打破國外企業(yè)在這一領(lǐng)域的壟斷地位。

3月26日至27日，于上海舉辦的此次盛會見證了SiCarrier的崛起。該公司展出了外延沉積設(shè)備（EPI）、原子層沉積設(shè)備（ALD）、物理氣相沉積設(shè)備（PVD）、刻蝕設(shè)備（ETCH）和化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD）等五大類產(chǎn)品，吸引了業(yè)內(nèi)專家、潛在客戶及競爭對手的廣泛關(guān)注。

SiCarrier，這家由國家支持且與科技巨頭華為有著緊密聯(lián)系的企業(yè)，專注于半導(dǎo)體設(shè)備及電子制造工具的研發(fā)與生產(chǎn)。其母公司思凱瑞科技成立于2021年，而SiCarrier工業(yè)機(jī)械有限公司則于次年問世，兩者均隸屬于深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)旗下，由深圳市國資委監(jiān)管。

此次推出的新設(shè)備覆蓋了半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，如用于先進(jìn)節(jié)點(diǎn)和第三代半導(dǎo)體外延生長的外延設(shè)備、實(shí)現(xiàn)5納米以下精度薄膜沉積的原子層沉積設(shè)備，以及適用于多種制造流程的化學(xué)氣相沉積設(shè)備等。這些領(lǐng)域長期被應(yīng)用材料（AMAT）、東京毅力電子（TEL）和ASM等國際巨頭所主導(dǎo)。

目前，國外供應(yīng)商在這些工藝設(shè)備市場上占據(jù)了主導(dǎo)地位。例如，AMAT和TEL在外延設(shè)備領(lǐng)域領(lǐng)先，而ALD市場則主要由ASM和TEL控制，兩者合計(jì)市場份額超過60%。在PVD設(shè)備方面，AMAT更是以85%的市場份額獨(dú)占鰲頭。SiCarrier的最新產(chǎn)品旨在打破這一局面，其采用的先進(jìn)反應(yīng)室設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制。

SiCarrier還展示了其支持14納米及以下節(jié)點(diǎn)的下一代光刻膠涂布與顯影設(shè)備，這也是長期以來被國外企業(yè)所控制的領(lǐng)域的一大突破。

除了沉積工具外，SiCarrier還推出了半導(dǎo)體檢測和測量解決方案，這是芯片制造質(zhì)量控制的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。公司已開發(fā)出13種關(guān)鍵檢測設(shè)備，包括光學(xué)檢測（BFI）、光學(xué)測量（IBO）、PX測量（AFM）以及功率器件測試（RATE-CP）等，廣泛應(yīng)用于邏輯、存儲和化合物半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。

隨著工藝節(jié)點(diǎn)縮小至14納米及以下，檢測和測量在提升半導(dǎo)體良率方面變得尤為重要。行業(yè)分析師指出，缺陷檢測精度的輕微下降都可能對整體晶圓良率產(chǎn)生重大影響，因此高精度測量工具成為制造商不可或缺的投資。

根據(jù)VLSI Research的數(shù)據(jù)，2023年全球半導(dǎo)體檢測和測量市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，中國市場則達(dá)到43.6億美元。盡管市場規(guī)模龐大，但國內(nèi)制造商在與國外成熟企業(yè)的競爭中仍處于劣勢。不過，從2019年至2023年，中國企業(yè)在計(jì)量領(lǐng)域的市場份額已從0.61%增長至4.34%，顯示出本地化進(jìn)程的加速。

SiCarrier在光學(xué)系統(tǒng)、材料和工藝控制技術(shù)方面已累計(jì)獲得80余項(xiàng)專利。最近的專利申請包括熱輻射結(jié)構(gòu)、工藝室設(shè)計(jì)和靜電吸盤技術(shù)等方面的創(chuàng)新，這些技術(shù)解決了晶圓處理中的電荷耗散挑戰(zhàn)。

目前，SiCarrier已開發(fā)出六大類半導(dǎo)體工具，并計(jì)劃繼續(xù)提升其技術(shù)能力。深圳作為中國半導(dǎo)體行業(yè)的重要樞紐，雖然在芯片設(shè)計(jì)方面表現(xiàn)突出，但在制造領(lǐng)域一直相對落后。SiCarrier的崛起，無疑為深圳乃至中國半導(dǎo)體制造業(yè)注入了新的活力。